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什么是半导体“超纯水”?
作者:admin 发布时间:2024-03-22 09:17:40 点击量:
半导体“超纯水”是指在半导体制造过程中使用的具有极高纯度的水。这种水通过特殊的处理技术,如蒸馏、去离子化、反渗透等方法生产出来,以确保其电阻率极高,达到或接近18.3mω*cm(25℃)的极限值。超纯水的主要特点是几乎不含任何导电介质、不离解的胶体物质、气体及有机物,因此具有极高的纯度和清洁度。

在半导体行业中,超纯水的应用非常广泛,包括晶圆冲洗、化学稀释、化工机械研磨、洁净室环境的加湿等多种场合。超纯水的质量直接影响到半导体产品的良品率,因为半导体晶圆在加工过程中会暴露于超纯水中,超纯水中的微粒子、气泡(溶解氧,溶解氮)和总有机碳(TOC)等指标对半导体元器件生产过程的产品质量和合格率有着重要影响。
随着半导体产业的发展,对超纯水的要求也在不断提高。先进的超纯水技术不仅能够提升半导体工艺的进步,还成为半导体制造过程的关键保障之一。此外,全球芯片半导体产业的竞争也与半导体超纯水密切相关,超纯水的纯度是确保高效生产的基石之一。
半导体“超纯水”是一种用于半导体制造过程中,具有极高纯度和清洁度的特殊水质,其质量直接关系到半导体产品的质量和生产效率。
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